老煉試驗的目的是為了篩選或剔除那些勉強合格的器件。這些器件或是本身具有固有的缺陷或者其缺陷產生于制造工藝的控制不當，這些缺陷會造成與時間和應力有關的失效。如不進行老煉試驗，這些有缺陷的器件在使用條件下會出現初期致命失效或早期壽命失效。

樣品應放于冷熱沖擊試驗箱中的合適位置，使液體在樣品周圍的流動不應受到阻礙，然后根據表2的規定，使負載進行條件B或其他規定的試驗條件進行15次循環。在完成規定試驗總循環數期間，為了進行器件批的加載或去載，或由于電源或設備故障，允許中斷試驗。

本試驗的目的是測定mems器件承受高溫和低溫的能力，以及高溫與低溫交替變化對器件的影響。

微光機電系統(MicroElectroMechanicalSystems-——MEMS)，以下簡稱MEMS。MEMS是融合了硅微加工、LIGA(光刻、電鑄和塑鑄)和精密機械加工等多種微加工技術，并應用現代信息技術構成的微型系統。它在微電子技術的基礎上發展起來的，但又區別于微電子技術。它包括感知外界信息(力、熱、光、磁、電、聲等)的傳感器和控制對象的執行器，以及進行信號處理和控制的電路。mems器件和傳統的機器相比，具有體積小、重量輕、耗能低、溫升小、工作速度快、成本低、功能強、性能好等特點。